共聚焦显微镜

1、高精度、高重复性


采用针孔，共聚焦光学系统、高稳定性结构设计、优异的3D重建算法组成测量系统保证测量精度高；


2、一体化操作的测量分析软件


1）测量与分析同界面操作，无须切换，测量数据自动统计，实现了快速批量测量的功能; 

2） 可视化窗口，便于用户实时观察扫描过程;


3）结合自定义分析模板的自动化测量功能，可自动完成多区域的测量与分析过程;


4）几何分析、粗糙度分析、结构分析、频率分析、功能分析五大功能模块齐全;


5）一键分析、多文件分析，自由组合分析项保存为分析模板，批量样品一键分析，并提供数据分析与统计图表功能; 

6） 可测依据ISO/ASME/EUR/GBT等标准的多达300余种2D、3D参数。

•1在环境温度20±2°C下用50X物鏡測量4.7㎛标准台阶样块。

•2在环境温度20±2°C下用50X物鏡测量标准刻线样板。