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产品特点：
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1.产品放置治具灵活多变，可适应不规则的产品
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2.水平电极设计，可满足软性产品处理需求。
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3.低耗能、耗气产品。
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4.便捷的收放板方式
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5.真空系统集成，占地面积小
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6.合理的等离子反应空间，使处理更均匀
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7.集成的控制系统设计，使操作更方便
产品参数：
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型号
真空等离子清洗机
HSR-150B
电源系统
射频电源
功率
0~600W
频率
13.56MHz
真空系统
双级旋片泵（油泵）
罗茨泵+单级旋片泵
真空管路
全不锈钢管路，以及高强度真空波纹管
材质
铝合金（可定制不锈钢腔体）
厚度
25mm
密封性
军工级焊接密封
腔体内部尺寸
500×670×500mm（宽×高×深）
电极板有效尺寸
587×470mm（宽×深）
可用空间间距
34mm
电极板布置方式
水平布置，可活动抽取
工作托盘
标配一套，材质可选配(铝材、钢丝网）
工作空间
3层
气体系统
流量范围
0~300SCCM
工艺气体气路
氩气
控制系统
系统控制
PLC
交付方式
7 寸触控屏幕
其它参数
外形尺寸
1020×1720×1120mm（宽×高×深）
重量
350KG
设备外观颜色
银灰色
